Xüsusiyyətlər:

1) Azotlama sürəti daha sürətlidir, nitridləşmə dövrü müvafiq qaydada qısaldıla bilər və ion nitridləmə müddəti qazın nitridləşmə vaxtının 1/3-2/3 hissəsinə qədər qısaldıla bilər.

2) Azotlama qatının kövrəkliyi kiçikdir, plazmanın nitridləşməsinin səthində əmələ gələn ağ təbəqə isə çox nazikdir, hətta yoxdur. Bundan əlavə, nitridləmə qatının yaratdığı deformasiya kiçikdir, bu, xüsusilə mürəkkəb formalı dəqiq hissələr üçün uyğundur.

3) Enerji və ammonyak istehlakına qənaət etmək olar. Elektrik enerjisi sərfiyyatı qazın azotlanmasının 1/2-1/5-i, ammonyak sərfi isə qazın azotlanmasının 1/5-1/20 hissəsidir.

4) Azotlanmanı istəməyən hissə parıltı yaratmadığı müddətcə, nitratlanmayan hissəni qorumaq asandır və parıltı mexaniki qoruyucu və dəmir lövhə ilə qoruna bildiyi müddətcə yerli nitrləməni həyata keçirmək asandır.

5) İon bombardmanı səthi təmizləyə və avtomatik olaraq passivasiya filmini çıxara bilər. Paslanmayan polad və istiliyədavamlı polad əvvəlcədən passivasiya filmini çıxarmadan birbaşa nitridlənə bilər.

6) Mürəkkəb təbəqənin quruluşu, infiltrasiya təbəqəsinin qalınlığı və quruluşu idarə edilə bilər.

7) Müalicə temperaturu diapazonu genişdir və 350 C-dən aşağı olan azotlama qatının müəyyən qalınlığı əldə edilə bilər.

8) Əmək şəraiti yaxşılaşdırılıb. Çirklənmədən və plazma nitridləmə müalicəsi çox az işlənmiş qazla çox aşağı təzyiq altında həyata keçirilir. Qaz mənbəyi azot, hidrogen və ammonyakdır və əsasən heç bir zərərli maddə əmələ gəlmir.

9) Paslanmayan polad, yüksək nitridləmə temperaturlu istiliyədavamlı polad, alət poladı və aşağı nitridləmə temperaturu olan dəqiq hissələr daxil olmaqla bütün növ materiallara tətbiq oluna bilər, aşağı temperaturda nitridləşmə isə qazın azotlanması üçün olduqca çətindir.